Corning Incorporated, Semiconductor Optics Division, USA;
ULE; optics; photomasks; CTE; homogeneity; thermal expansion; metrology interferometer; EUVL; striae; LTEM;
机译:使用X波段持续散射干涉仪测量热膨胀
机译:测量ULE玻璃中的CTE均匀性
机译:测量ULE玻璃中的CTE均匀性
机译:康宁ULE〜玻璃的热膨胀系数的微小变化研究
机译:等离子喷涂低热膨胀铝硅酸盐玻璃。
机译:用于测试双材料晶格热膨胀的稳健干涉仪
机译:使用X波段持久散射散道干涉测量热膨胀