Lithography Technology Department, Sony Corporation SSNC 4-14-1 Asahi-cho, Atsugi-shi, Kanagawa 243-0014, Japan;
NGL; LEEPL; stencil mask; CD uniformity; MEEF; edge roughness; inter-shot; intra-shot; thin resist;
机译:使用超短激光进行临界尺寸控制以提高晶片临界尺寸均匀性
机译:极限紫外光刻中接触特性因焦点变化而引起的临界尺寸均匀性的全场分析
机译:均匀和非均匀电场中气泡的稳态形状和小振幅振荡的三维分析
机译:使用扫描电子显微镜(SEM)系统对二维(2D)结构进行高通量临界尺寸均匀性(CDU)测量
机译:微光刻集群中温度和临界尺寸均匀性的表征和改进:一项分析和实验研究。
机译:活的成纤维细胞中3磷酸肌醇信号传导的空间分析:I.均匀刺激模型和无量纲上的界
机译:二维临界磁场的下临界磁场理论 超导薄膜在非均匀场中
机译:关于二维翼型的势流。第一部分二维翼型方法综述。第二部分。用Douglas Neumann方法求解一致或非均匀流中任意形状的一个或多个翼型的流场,