共鳴型非接触給電を用いた小型べァリングレスモータの開発

摘要

モータは電化製品から産業機械まで様々な分野で使用されている。その中で、クリーンルームなどで使用する目的としてベアリングレスモータが注目されている。ベアリングレスモータとは、磁気軸受機能を磁気的に一体化したモータと定義されており[1]、摩擦•摩耗がなく、潤滑油を使用しなレ、ので汚損の問題がないなどの特徴を有する。そのため、近年半導体工場における薬液を搬送するポンプなどへの応用が考えられているモータである[2]。しかし、現在までに開発されているベアリングレスモータは、いずれも永久磁石を使用したものであった。永久磁石を使用すると小型ィ匕や効率化を容易に図ることができるが、キュリー温度の制限や外部磁界による減磁などの問題を有している。そこで、本研究では電磁石のみを使用することにより、高温環境下など、使用可能な環境を拡大することを目的としたベアリングレスモータを開発してきた。