酸化グラフェン,酸化グラフェン還元体を触媒としたSi 基板のケミカルエッチング

机译：以氧化石墨烯和还原氧化石墨烯为催化剂的硅衬底化学刻蚀

获取原文

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

酸化グラフェン（GO）は電極，触媒，半導体材料などの様々な用途への応用が期待されている材料である．GO やGO 還元体（rGO）の触媒機能を活用することで，Ge 基板のケミカルエッチングが最近報告された[1]．Si 基板において同様なプロセスを実証できれば，ナノ構造形成やウェハのケミカルダイシングに応用できる可能性がある．本研究では，まずGO およびrGO を触媒としたSi 基板のケミカルエッチングを試みた．

机译：氧化石墨烯（GO）是一种有望应用于各种应用的材料，例如电极，催化剂和半导体材料。最近报道了利用GO和GO还原剂（rGO）的催化功能对Ge基片进行化学蚀刻的方法[1]。如果可以在硅衬底上演示类似的过程，则可以应用于纳米结构的形成和晶圆的化学切割。在这项研究中，我们首先尝试使用GO和rGO作为催化剂对Si衬底进行化学蚀刻。

著录项

来源
《応用物理学会春季学術講演会;応用物理学会》|2018年|15.128|共1页
会议地点
作者
石塚隆高; 宇都宮徹; 一井崇; 杉村博之;
展开▼
作者单位

京大院工 ishizuka.ryuko.46u@st.kyoto-u.ac.jp;

京大院工;

展开▼
会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. 还原氧化石墨烯负载氧化钴杂化纳米催化剂的合成及其对一氧化碳氧化的催化性能 [J] . 王燕, 陈泽华, 黄静, 中国有色金属学报：英文版 . 2018,第011期
2. ミニ60年目のサプライズMINI 602019年は、ミニにとって誕生60周年を祝うァニバーサリーィャー。そんな特別な年を記念して、早くも特別限定モデルのMINI 60 Years Editionが本国で発表された。今日まで受け継がれるミニの基本的なパッケージングは、すでに60年前に確立されたもの。ミニの生みの親であるサ!ァレック•イシゴニスは、ミニマムなボディサイズと大人4人が快適に乗れる室内空間を両立させるため、エンジンをフロントに横置きして前輪駆動とするアイデァを考案。今日のコンパクトカ-の公式をつくり上げた。さらに走りの素性の良さに着目したジョン•ク-パ-が、ミニにチュ-ニングを施したミニ•ク-パ-を製作。軽量な車体と俊敏なハンドリン [J] . ニューミニ·スタイルマガジン/New Mini Style Magazine . 2019,第JUNa期

机译：Mini 60th Surprise MINI 60 2019是MINI的微型周年庆典。为了纪念这一特殊的年份，特别宣布了限量版MINI 60 Years Edition。传到今天的迷你的基本包装是60年前建立的。 Mini的创造者Sarek•Isigonis设计了一种想法，其中发动机水平放置在前轮上以驱动前轮，以实现最小的车身尺寸和可让四名成年人舒适乘坐的室内空间。创建了当今紧凑型汽车的公式。此外，约翰·库珀（John Cooper）着眼于出色的行驶特性，并制作了带有微调的迷你双座轿跑车。轻巧的机身和敏捷的操控
3. ミニ60年目のサプライズMINI 602019年は、ミニにとって誕生60周年を祝うァニバーサリーィャー。そhな特別な年を記念して、早くも特別限定モデルのMINI 60 Years Editionが本国で発表された。今日まで受け継がれるミニの基本的なパッケージングは、すでに60年前に確立されたもの。ミニの生みの親であるサ!ァレック•イシゴニスは、ミニマムなボディサイズと大人4人が快適に乗れる室内空間を両立させるため、エンジンをフロントに横置きして前輪駆動とするアイデァを考案。今日のコンパクトカ-の公式をつくり上げた。さらに走りの素性の良さに着目したジョン•ク-パ-が、ミニにチュ-ニングを施したミニ•ク-パ-を製作。軽量な車体と俊敏なハンドリン [J] . ニューミニ·スタイルマガジン/New Mini Style Magazine . 2019,第Juna期

机译：迷你迷你60在迷你60年代迷你60年来庆祝迷你60周年。在纪念特殊年份，迷你60年版特殊有限模式在其本国宣布。迄今为止迄今为止的迷你的基本包装已经成立于60年前。由于它是迷你的父母的父母，iSigonis是一个最小的体型和四个成年人，可以与房间空间兼容，在那里可以舒适地进行，发动机压下前轮驱动。我创造了今天的紧凑型凯的官员。此外，John-K-PA-PY-PE-PA-PA-PEREEEDEDEDEDOSEDOVERED。轻型车身和敏捷Handlin
4. NTTら業界団体を設立光通信技術を研究日本電信電話(株)(NTT、東京都千代田区)、米インテル、ソ二ー(株)(東京都港区)の3社は、新たな業界団体を設立する。光電融合技術を活用したフォトニクス関連技術の研究開発などを推進し、超大容量通信に対応できる光ネットヮーク技術の確立などを目指してハる。3-3プロセッシング領域狙う国内DRAM大手のェルピーダメモリを買収し、大きく飛躍を遂げた米マイクロンテクノロジー。2017年にはサンディスク共同創業者の1人である、Sanjay Mehrotra (サンジエイ·メイロトラ)氏を招聘。経営体制も刷新され、大きく生まれ変わった「新生マイクロン」を全面に押し出した。米サンフランシスコで開催されたプライベートイベント「MlicronInsight 2019」(現地10月24日開催)では、同社のあるべき将来像に対するメッセージが随所に散りばめられていた。 [J] . 半導体産業新聞 . 2019,第2372期

机译：成立了NTT和其他工业集团研究光通信技术的日本电报电话公司（NTT，东京千代田区），英特尔，索尼公司（东京都港区）是三个新的工业集团。建立。促进利用光电子融合技术的光子相关技术的研究和开发，并致力于建立可支持超高容量通信的光网络技术。 3-3处理领域美国Micron Technology在收购了国内主要DRAM公司Elpida Memory之后取得了巨大飞跃。 2017年，我们邀请了Sanjay联合创始人Sanjay Mehrotra。管理系统也进行了改进，我们推出了完全脱胎换骨的“新Micron”。在旧金山举行的私人活动“ Mlicron Insight 2019”（10月24日举行）上，有关公司未来愿景的信息四处散布。
5. 酸化グラフェン,酸化グラフェン還元体を触媒とした Si 基板のケミカルエッチング [C] . 石塚隆高, 宇都宮徹, 一井崇, 応用物理学会春季学術講演会 . 2018

机译：用石墨烯和石墨烯还原剂催化Si衬底的化学蚀刻
6. 3-メチルコラントレンを投与したラット肝ミクロゾームのUDP-グルクロニルトランスフェラーゼの精製と性質 [D] . 横田, 博 1987

机译：从3-甲基胆固醇处理的大鼠肝微粒体中UDP-葡萄糖醛酸转移酶的纯化和鉴定。
7. フォールトニンチエイキョウヨウインオコウリョシタソフトウェアシンライセイモデリングワクグミニカンスルイチコウサツフカクジツフカクテイセイカデノイシケッテイカテイ [O] . 井上真二, 山田茂 2010

机译：故障忍者荣京尤因Okoryo Shita软件Shinraisei建模Wakugumi Nikansuru Ichikosatsu Fukuakujitsu Fukuakusei Seika Denoiske

酸化グラフェン,酸化グラフェン還元体を触媒としたSi 基板のケミカルエッチング

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅