高温超伝導ジョセフソン接合特性のイオン照射による影響

摘要

高温超伝導SQUIDでは、コヒーレント長が 短いため、結晶粒界を利用したジョセフソン接 合（JJ)が用いられる。しカゝし、粒界型JJの特 性は、基板の界面性状に依存し、磁場分解能は 数百fTA/Hzと粗く、十分なSNR (信号対雑音 比）が得られない。そこで、新規の低ノイズ SQUID作製法として、イオンビーム照射によ る酸素欠損生成を利用したJJ作製技術を検討 している。本研究では、その前段階として、ィ オン照射によるJJおよびマイクロチャネルの 超伝導特性への影響を調査した。