Hitachi Ltd. Research & Development Group Center for Technology Innovation - Healthcare;
Hitachi Ltd. Research & Development Group Center for Technology Innovation - Healthcare itaru.yanagi.yr@hitachi.com;
机译:用于纳米孔制造的SiN膜的两步分解:薄部分的形成和渗透
机译:通过受控击穿在SiN x膜中制造多个纳米孔
机译:溶液中厚度小于10 nm的SiN膜的厚度依赖性介电击穿和纳米孔形成
机译:用于纳米孔制造的SIN膜的两步击穿:薄部分的形成和渗透
机译:使用两步阳极氧化工艺在阳极氧化铝(AAO)管状膜中制造锥形多孔结构。
机译:用于纳米孔制造的SiN膜的两步分解:薄部分的形成和渗透
机译:NPN / SIN X双膜腔的单片制造基于纳米孔的DNA感测