グラフェン電極を利用した酸化亜鉛/石英ガラス基板の弾性波特性

摘要

傷の治癒状態を知るために、皮膚の怪我周りの湿度の継続的な観測が有効であるとされている[1]。酸化亜鉛(ZnO)は、圧電材料の1 つであり、ワイヤレスな弾性表面波（SAW）センサ[2]に応用することができる。また、人体に無害であり、薄膜を利用することでウェアラブルな湿度センサを実現できる。SAW を励起するためには、圧電材料の他に櫛型電極が必要である。そこで本研究では、圧電部にZnO を用いたSAW センサを設計し、周波数特性を計算した。特に櫛型電極について着目し、金、アルミニウム、グラフェンを用いた場合について検討した。