強磁性トンネル接合センサ用Co_2Fe_(0.4)Mn_(0.6)Siフリー層の軟磁気特性向上

机译：铁磁隧道结传感器的Co_2Fe_（0.4）Mn_（0.6）Si自由层软磁性能的改进

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心磁場や脳磁場などの微弱な生体磁場を室温で高精度に検出するため、強磁性トンネル接合(MTJ)素子を用いた生体磁気センサの感度向上が課題である。感度の大幅向上のために、高 B2 規則度の条件下で、高スピン分極率と良好な軟磁気特性が期待される Co 基フルホイスラー合金Co_2Fe_(0.4)Mn_(0.6)Si（CFMS）に着目した。本研究では感度向上を目的として、SiO_2アモルファス基板上に多結晶のCFMS薄膜を電極としたMTJ素子を作製した。

机译：为了在室温下高精度地检测诸如心脏和脑磁场之类的弱生物磁场，使用铁磁隧道结（MTJ）元件来提高生物磁传感器的灵敏度是一个问题。重点研究Co基全Heusler合金Co_2Fe_（0.4）Mn_（0.6）Si（CFMS），该合金有望在高B2级条件下具有高自旋极化率和良好的软磁性能，从而显着提高灵敏度做到了。在这项研究中，为了提高灵敏度，我们已经使用多晶CFMS薄膜作为电极在SiO_2非晶衬底上制造了MTJ器件。

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来源
《応用物理学会秋季学術講演会;応用物理学会》|2018年|09.079|共1页
会议地点
作者
工藤奈々; 小池剛央; 金珍虎; 大兼幹彦; 角田匡清; 安藤康夫;
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作者单位

東北大院工 nana.kudo.t4@dc.tohoku.ac.jp;

東北大院工;

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