Yield Aware Equipment Preventive Maintenance (PM) Optimization

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• 来源
  《Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 2007 IEEE/SEMI》|2007年|P.225-227|共3页
• 会议地点 StresaItaly
• 作者

  Inani; A.; Kim; J.; Liao; M.; Shimazu; K.; Lin; Y.; Arthanari; S.; Stine; B.;

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• 作者单位

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• 中图分类
• 关键词

  inspection; preventive maintenance; inline inspection; preventive maintenance optimization; yield aware equipment preventive maintenance; yield aware optimization;

  机译：检查;预防性的维护;在线检查；预防性维护优化；知道产量的设备预防性维护；收益意识优化;