An universal method to optimize shrunken distance of the step plate Tseng, Yun-Chieh

机译：优化台阶板缩距的通用方法曾允杰

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In PVD (Physical Vapor Deposition) process, this study mainly exhibits an innovatively designing approach of thin film micro-control which the Dummy Plate of Step type and the proportional of step structure (h/d) were optimized to attain reasonable Guard band. The optimized approach can effectively reduce the film deposition to avoid shell-like defect and significantly improve the effect of the crystal defect on the wafer backside.

机译：在PVD（物理气相沉积）过程中，本研究主要展示了一种创新的薄膜微控制设计方法，该方法优化了阶梯型虚拟板和阶梯结构的比例（h / d），以获得合理的保护带。优化的方法可以有效地减少薄膜沉积，避免出现壳状缺陷，并显着提高晶体缺陷对晶片背面的影响。

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来源
《2017 Joint International Symposium on e-Manufacturing and Design Collaboration amp; Semiconductor Manufacturing》|2017年|1-3|共3页
会议地点 HsinChu(CN)
作者
Chien-Hui Lu; Chien-jung Chiu;
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作者单位

Powerchip Technology Corporation, No.12, LI-HSIN RD. 1, HSINCHU SCIENCE PARK, HSINCHU, TAIWAN, R.O.C;

Powerchip Technology Corporation, No.12, LI-HSIN RD. 1, HSINCHU SCIENCE PARK, HSINCHU, TAIWAN, R.O.C;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
Sputtering; Atomic layer deposition; Argon; Surface treatment; Failure analysis; Solids;

机译：溅射;原子层沉积;氩气;表面处理;失效分析;固体;;
入库时间 2022-08-26 14:05:32

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