Department of Electrical Engineering, National Chi-Nan University, Puli, Nantou, Taiwan, 54561 R.O.C.c;
MEMS; infrared microbolometer; micro-cavity; temperature sensor;
机译:采用标准CMOS技术的低成本非制冷红外铝测微热计
机译:使用CMOS-MEMS工艺制造的基于双光束的红外设备
机译:具有用于长波长红外(LWIR)检测的Ti / MgF_2红外吸收层的宽温度(最多100°C)的基于Ti / MgF_2红外吸收层的微压测量仪
机译:标准CMOS-MEMS过程中的一种新型红外微汽力仪
机译:红外微辐射热计中使用的多价钒氧化物薄膜的微观结构和氧化态的影响。
机译:低成本的微泡仪类型红外探测器
机译:多光谱频率选择性中红外微压计
机译:用于长波长检测的非制冷红外微测辐射热计和硅氧化锗(sixGe1-xOy)红外敏感材料。