Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig;
interferometry; FPGA; nanometrology; nanoscale; atomic force microscopy (AFM); nanopositioning; tilt measurement; distance measurement;
机译:开发具有最小阿贝误差和基于差分干涉仪的实时位置控制的计量原子力显微镜
机译:基于紧凑型现场可编程门阵列(FPGA)的多轴干涉仪,可同时测量亚纳米范围内的倾斜和距离
机译:基于原子力显微镜与扫描电子显微镜或倒置光学显微镜耦合的紧凑型纳米操纵器
机译:基于紧凑的FPGA多轴干涉仪,施加在计量原子力显微镜中
机译:使用原子力显微镜实时识别材料的局部表面特性-基于FPGA的实现。
机译:用于原子力显微镜的紧凑型垂直扫描仪
机译:A4.1具有亚纳米分辨率的大范围测量的计量原子力显微镜