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A4.1 A Metrological Atomic Force Microscope for Large Range Measurements with Sub-nanometre Resolution

机译：A4.1具有亚纳米分辨率的大范围测量的计量原子力显微镜

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作者
Y. Wu; E. Wirthmann; U. Klöpzig; T. Hausotte;
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年度 2021
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1. Measurement of deep groove structures using a self-fabricated long tip in a large range metrological atomic force microscope [J] . S H Wang, S L Tan, G Xu, Measurement Science & Technology . 2011,第9期

机译：在大范围计量原子力显微镜中使用自行制造的长尖端测量深沟结构
2. Design of a self-aligned, wide temperature range (300 mK-300 K) atomic force microscope/magnetic force microscope with 10 nm magnetic force microscope resolution [J] . Karci Ozgur, Dede Munir, Oral Ahmet Review of Scientific Instruments . 2014,第10期

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