硅基力敏传感器及其工业应用

摘要

提出了国内硅基力敏传感器的现状，指出在产品研发、制备工艺、基础研究、应用方面存在的问题和不足。分析了硅基力敏元件和传感器的发展趋势。介绍了硅压阻、硅电容、硅谐振三种典型的压力传感器。并对力敏传感器应用时的选用原则、注意事项、应用领域等问题进行了论述。