基于现场总线的硅片自动装卸控制系统设计

摘要

开发了一种基于现场总线的硅片自动装卸控制系统。系统采用PROFIBUS-DP 总线和 ASI 总线相结合的控制方式，实现了PECVD 石墨舟硅片的装卸过程自动化，提高了太阳能电池片生产线的生产效率和自动化水平，降低了劳动强度，提高了产品质量。