表面等离子共振传感器金属膜的优化设计分析

摘要

基于表面等离子共振（SPR）传感器的理论模型，阐述了金属膜选择对传感器性能的影响。采用MATLAB数值模拟，比对分析了Au、Ag两种材料对于角度调制型SPR传感器性能影响，相应最佳厚度分别为52nm、38nm。根据Au、Ag各自特性，提出了一种Ag+Au复合膜结构的设计。通过对该复合膜结构SPR传感器性能的数值分析结果可知复合膜总厚度为50nm（Ag膜厚度20nm），可以改善传感器的性能。