激光原位统计分布分析技术

摘要

激光诱导击穿光谱法无需制备样品，采用非接触方式直接在样品表面上方进行材质分析。激光原位分析仪(LIBS-OPA)是一种新型的检测设备，能够解决非平面及异形材料的解析。脉冲激光光源经透镜聚焦在样品表面产生等离子体光谱，结合在氩气气氛保护下可移动激发平台，进行激光原位统计分布分析。得到多元素的激光光谱异常信号，其代表每个元素相关的位置分布、统计偏析度和最大偏析度的信息，基于此实现断口样品和焊缝样品的原位统计分布分析表征。用激光光谱对镀锌板的深度和缺陷部位分析得到的结果与辉光光谱和扫描电子显微镜研究得到的结果一致，表明LIBS-OPA 可以用于镀层板的深度分析和缺陷来源的判别。因此，激光原位统计分布分析为新材料以及新工艺研究提供性能质量判据。