TSF装置中晶闸管损耗分析及其散热参数设计

摘要

为了提高TSF装置的可靠性，本文通过分析流经TSF装置的电流波形，探讨了晶闸管元件的工作电流中含有高次谐波成分的工况下，其热损耗的估算方法；并根据估算出的热损耗功率，介绍了利用稳态热阻模型进行散热系统参数设计方法。