CO2掺杂对本征非晶硅氧材料特性影响的研究

摘要

为更为合理的分配硅基薄膜叠层太阳电池的光谱响应,提高电池效率,需要采用光学带隙较非晶硅更宽的材料作为顶电池吸收层.本文中采用VHF-PECVD 技术,以CO2 作为氧掺杂源,制备了用于硅基薄膜电池本征吸收层的非晶硅氧材料,以期提高电池的开路电压.rn 研究发现,提高CO2的掺杂能够使材料的光学带隙明显提高,并且其与薄膜中的氧含量近似呈现线性关系；同时Raman 测试显示,随着CO2 掺杂的提高,材料的中程有序度下降,缺陷态增多,表现为材料的光电导下降,光敏性降低.通过OES 对等离子体进行检测,发现随着CO2 掺杂的增大,等离子体中Hα对应的谱线的强度降低,表明等离子体中原子H 减少,钝化作用降低,是造成材料质量下降的原因之一.