增强氮化硅涂层及其在晶体硅铸锭中的应用

摘要

本文采用改进溶胶凝胶法(sol-gel)制备增强氮化硅涂层(SG 涂层),并将其应用于准单晶硅铸锭及普通多晶硅铸锭.实验结果显示：1)采用溶胶凝胶法制备的氮化硅涂层,早期强度较常规喷涂法制备的涂层有显著的提高；2)氮化硅涂层中有机物的添加会降低硅熔体与涂层间的非浸润性,涂层中有机物在加热过程中的碳化可能是其主要原因.铸锭应用结果显示：完整的SG工艺制备的氮化硅涂层可以满足准单晶硅铸锭脱模需要,同时,免烧结SG 涂层可直接应用于普通多晶硅铸锭生产.