SrTiO3/LaAlO3界面显微结构的TEM研究

摘要

本文利用脉冲激光沉积法在单晶STO衬底上制备出了不同厚度的单晶LAO薄膜材料，并利用透射电子显微镜(TEM)对LAO薄膜的截面样品进行了界面显微结构的研究。