基于误差分离的气浮式垂直度测量仪检测方法

摘要

气浮式垂直度测量仪具有较大的测量行程和较高的测量精度,传统的检具与检测方法无法满足其检测要求,针对该仪器设计了新的专用检具,并提出了基于误差分离技术的检测方法应用于实际检测中,检测结果显示垂直度误差为0.8μm。