干涉-吸收型膜系结构工作原理及性能研究

摘要

本文介绍了用磁控溅射技术,在玻璃基体上沉积干涉-吸收型太阳能选择性吸收膜系的工艺.通过台阶仪测量了各个膜层的厚度.借助紫外可见分光光度计,研究不同工艺条件下,膜系的反射光谱与各个膜层厚度之间的关系以及膜系吸收比,发射比的变化.实验得到:通过改变高金属体积比吸收层和低金属体积比吸收层的厚度,可以大大增强薄膜的干涉效应,使膜系具有最大的吸收比和最小的发射比,集热效率大大提高.

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