不同晶面的蓝宝石磨削表面形貌研究

摘要

蓝宝石单晶具有优良的物理性能、光学性能、电学性能以及机械性能,被广泛应用于窗口、照明、半导体衬底等领域.蓝宝石具有各向异性特征,不同晶面呈现不同物理特性.晶面特性对于蓝宝石单晶加工表面有较大影响,不同晶面加工表面形貌及材料去除特征相关研究仍不完善.为分析不同晶面蓝宝石磨削表面形貌创成特点,选取A、C、R、M四种晶面蓝宝石,对其进行精密磨削试验,通过对磨削表面形貌及材料断裂特征进行分析,研究不同晶面的蓝宝石磨削表面形貌特征.