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高精度槽式聚光系统专用反射镜的制备及性能研究

摘要

利用特殊设计的新型热弯模具制备槽式聚光系统专用反射镜的高精度背板玻璃,再将其与1.1mm银镜玻璃层合粘接,最终制备得到高精度槽式聚光系统专用反射镜.考察了化学钢化工艺对1.1mm超薄玻璃表面应力的影响规律.研究发现:在450℃的条件下交换16小时所得到的化学钢化超薄玻璃,其应力值为595MPa,应力层深度为29μm;利用上述技术制备的槽式反射镜其精度误差小于2毫弧度.

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