半导体行业EPA区接地系统测试方法研究

摘要

在半导体行业中,静电放电是导致半导体器件失效的主要原因之一,接地连接系统作为静电防护系统中基础环节,起着重要的保障作用.深入分析半导体工艺的前道工艺流程和后道加工过程,设计了生产过程所需的防静电接地系统架构.依据Q/QJA118～123标准,研究了接地电阻测量原理,提出了两种接地电阻的“辅助电极法”和“环线法”,能够满足半导体行业设计人员、检测人员需求.避免了由于接地布局不正确或接地电阻测量不准确而给产品带来的静电损伤,最终保证半导体产品的全生命周期达到最佳静电防护效果.