被动活塞式气体小流量标准装置的研究与应用

摘要

为开展气体小流量传感器溯源校准工作,研制出相应气体小流量标准装置.以被动活塞式玻璃体积管作为主标准器,流量测量范围为0.01～10L/min,扩展不确定度为0.2％(k=2).装置气源为高压气瓶,可采用空气、氮气、氩气等多种无毒无危害气体作为气源,通过两级减压在被校流量计前形成稳定压力,保证流经被检流量计和主标准器的流量持续稳定.研究中对主标准器开展了密封性、压力波动和流量稳定性等试验,试验结果表明该套流量标准装置具有良好计量性能,满足常规微小气体流量传感器的检定校准要求.