真空预载气体静压止推导轨设计及其应用

摘要

真空预载气体静压止推导轨具有结构简单,综合装配精度易保证,运动精度高,稳定性好、清洁无污染的优点,故在各种测量仪器中得到广泛应用.本文在对真空预载气体静压导轨基本结构及工作原理介绍的基础上,以真空预载环形静压止推导轨为例,详细介绍了其静态承载特性分析方法并进行了实验验证.将真空预载环形静压止推导轨应用于某高精度角度计量转台,获得了分度精度优于0.1秒,测量不确定度优于0.05秒(K=2)的位置控制精度,达到国际先进水平;某高精度导轨综合检测装置采用真空预载静压止推导轨,获得了0.1um/250mm,0.2/500mm运动直线度,提升了导轨形位精度测量精度与测量效率,且检测数据重复性高.