基于电容法的微小间隙传感器仿真

摘要

为精确测量微小间隙,设计并仿真了基于电容法的间隙传感器,针对平板电容在不同极板间距下电容值的变化、边缘效应以及极板位置偏差对电容值的影响等问题展开了研究.根据仿真结果,确定了减小边缘效应对测量精度影响的处理办法,明确了装配误差对测量精度的影响,验证了基于电容法的间隙传感器设计的可行性,为今后传感器的研制与实验提供了有力支撑.