光栅传感实验误差分析及改进

摘要

本文简要介绍了光栅传感实验仪的工作原理及结构,该实验用该仪器,测量了直线光栅常数.通过观察直线、径向圆、切向圆光栅的莫尔条纹,研究验证了相应的莫尔条纹的栅距放大作用,莫尔条纹移动与栅距的同步性等特性.由此得出光栅传感器有很高的直线位移和角位移测量精度,因而能运用在机床加工、检测仪表等高精度需求行业.