非接触步距规校准装置的研制

摘要

利用激光干涉仪、光电瞄准系统、二级复合定位系统相结合,研制了非接触步距规校准装置,实现了高精度非接触步距规.本文介绍了该仪器的构成、原理、特点,并进行了装置的不确定度分析,经分析1m步距规的测量不确定度可以达到0.5μm(k=2).