石英玻璃表面精密加工研究进展

摘要

石英玻璃是紫外光刻、激光核技术等精密光学系统的关键光学元件,其表面加工质量直接影响系统的长期稳定运行.文章介绍了化学机械抛光工艺,以及磁流变抛光加工、等离子加工、离子束加工、弹性发射加工等现代超精密加工技术的工作原理,在石英玻璃高表面质量方面的应用情况及未来发展趋势,并阐述了相关加工技术的优缺点,为高精密石英玻璃表面加工选取适应性加工工艺提供理论和技术支撑.