失效磷酸基化学抛光液的综合利用

摘要

以失效磷酸基化学抛光液为原料,采用氢氧化钠和氢氟酸为沉淀剂对失效磷酸基化学抛光液的铝进行沉淀分离,滤渣和滤液经过进一步处理后成为新的有价物质。对回收失效磷酸基化学抛光液综合利用的主要影响因素、过滤方式以及沉淀进行了讨论。结果表明：氢氧化钠和氢氟酸的加入量均为化学计量比的1.0～1.2倍,采用二步法过滤的条件下,磷酸的回收率达到80％以上,铝的去除率超过90％；经XRD检测,沉淀为锥冰晶石(Na5Al3F14)。该方法工艺操作简便,成本低廉,废液处理量大,从而开发出一种从失效磷酸基化学抛光液中回收利用有价金属铝和抛光液的二次资源综合利用的新技术。