晶格渐变光子晶体边腔耦合及交叉双横梁结构的量程可扩压力传感器研究

摘要

本文提出了一种基于晶格渐变型光子晶体与交叉双横梁结构的压力传感器,该压力传感器使用二维光子晶体平板作为传感单元,在晶格渐变的光子晶体W1波导两侧引入三个参数相同的微腔,通过合理设置晶格常数的变化间距,使得微腔的谐振频率互不相同,在输出端得到三个等间距的谐振峰.当横梁受力发生形变时,传感柱依次通过上述传感微腔,使得每个微腔的等效折射率依次变化,因此与微腔对应的谐振峰也对应着发生偏移.三个微腔之间互不影响,协同工作,实现了量程的线性扩展,从而可以量测较大的压力变化.