应用ToF-SIMS分析固态金属表面及次表面氢同位素的研究

摘要

飞行时间-二次离子质谱技术(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry,ToF-SIMS)是一种强有力的表面&界面表征手段,与传统的表面分析技术相比,具有很高的横向和深度分辨率及超高灵敏度,能区分同位素,可以检测低原子序数的元素离子(Z＜11的元素)与分子碎片离子等.因此,ToF-SIMS是检测固体金属样品表面氢同位素的一种理想分析检测技术.利用ToF-SIMS对自制的两种含氘的固体样品(分别是充氘钛合金和含氘泡铝膜)表面及其次表面进行分析,通过改变Cs枪的溅射时间,实现了对这两种固体样品表面及其次表面氢同位素的检测分析.