加工工具物理气相沉积技术的发展

摘要

涂层在工具领域的应用，最为关键的因素在于涂层的高硬度在切削过程中有力提高了刀具的抗磨损性能，延长刀具的切削寿命，从而降低制造成本。本文介绍了涂层的作用及基本要求,涂层种类,涂层装备以及涂层应用等内容,并总结了涂层技术的发展方向，包括更加注重涂层生产全过程的工艺控制。从重视涂层工艺发展到涂前刀具处理、涂中工艺控制到涂后刀具优化的全过程控制，进一步提高涂层刀具的质量;更加注重涂层新品种的开发和涂层结构的优化，推进针对性高性能涂层新品种的发展;涂层装备设计更加注重涂层生产过程污染源的控制，涂层工艺设计更加注重涂层刻蚀工艺的优化，最大程度提高膜基结合力;更加注重靶材的利用率，降低生产成本，最大程度提高涂层性价比。