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液晶显示用玻璃基板中铂族金属缺陷产生的原因分析与对策

摘要

本文从理论上全面阐述了溢流下拉法工艺生产的用于液晶显示用玻璃基板中铂铑缺陷产生的三大主要来源和机理.并结台生产实践,从工艺控制、设备和原材料管理方面分别讨论了铂铑缺陷产生的主要影响因素,系统提出了抑制铂铑缺陷产生的对策思路,并据此给出了可显著减少比类缺陷水平的对策方案.

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