Pattern in Pattern技术的研究

摘要

本文主要研究了Pattern in Pattern(PIP)技术,通过该技术可以使用Half-tone Mask制作出2种以上的隔垫物高度(PSH),而不需要采用价格昂贵的Multi-tone Mask.本文研究了PIP面积与隔垫物高度及大小的规律,并发现可以通过改变PIP面积,从0到7um,来使得隔垫物高度差(△PSH)从0到0.7um.此外,本文研究了如何将这种技术应用于制备超高精细的隔垫物中,并在12.5UHD产品上使用.并评价了12.5UHD的LCMargin和信赖性,结果都是OK的.最后,研究了PIP技术的机理部分.