OLED EL制程精确对位机构的研究

摘要

本文通过对OLED EL制程中对位工艺的机械结构进行研究,测试其在以不同位置的θ轴为中心转动时的对位性能.结果表明:旋转中心越接近基板的几何中心,所能达到的对位精度越高,次数越少,时间越短.本文认为,影响对位精度的三个参数:X、Y、θ中,θ影响程度最大,如何将θ轴机构的位置和精度做到更好将成为影响OLED EL制程对位精度的关键.