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全解耦式净化空调系统及其应用

摘要

服务于受控的洁净区域的传统净化空调系统,由于系统自身的耦合性,难以适应受控区域内洁净空间不同的环境控制要求,以及不断更新的工艺.由于将传统的净化空调系统完全解耦,可以按工艺要求任意组合系统的组件能独立解决各自的环境控制要求与更新的工艺,而不影响到整个受控区域或邻近空间.

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