利用空间磁场信息的六自由度精密实时测量研究

摘要

作为能实现精密定位和快速运动的载物平台,平面电机广泛应用于PCB制板、生物与半导体检测、光刻机等装备中.所研究平面电机是一类直驱永磁同步电机,由线圈驱动的运动台与定子磁钢阵列组成,其定子磁钢阵列的固有磁场包含丰富的空间位置信息.在该电机的运动台上安装磁敏传感器检测磁场变化,再根据磁场与空间关系模型求解运动台位移,可极大地减小多自由度位移测量装置的结构复杂性.从这一思想出发,本项目研究构建多自由度位移与磁场关系的检测数学模型,并由解该非线性检测模型实现对空间多自由度位移的精密测量.