微流体脉冲惯性喷射技术制备微电极

摘要

基于微流体脉冲惯性喷射技术搭建了微电极的按需喷射制备系统.以纳米银导电墨水为喷射材料,将其以一定的重叠率按需微喷射到经过洁净处理的盖玻片基底表面上,形成微电极图形;然后将制备有微电极图形的玻片置于恒温干燥箱,以140°C烧结25min后进行固化,制得微电极.实验研究了微喷嘴内径和驱动电压对液滴直径的影响以及液滴直径和重叠率对微电极图形宽度的影响.最后,制备了任意图形的微电极,并对微电极导电性能的均匀性和微电极的稳定性进行了检测.实验结果表明,采用微流体脉冲惯性喷射技术制备微电极的方法制备过程简单、成本较低、基底不需进行表面处理,制备的微电极几何尺寸可控,导电性能均匀,具有较好的形貌和电阻稳定性.