基于Preisach理论的双驱压电式微进给系统研究

摘要

压电陶瓷存在迟滞、蠕变和非线性等缺陷严重影响压电陶瓷微动台的定位精度,为解决这一问题,本文引入双驱控制技术,以压电陶瓷作为驱动器搭建微进给控制系统.系统控制部分采用运动控制器,利用了运动控制器的精确控制与强大的运算能力.系统采用两个压电陶瓷作为驱动器同时驱动工作台,并配备多个位移传感器构成闭环系统.采用Preisach-Mayergoyz模型分别进行对比实验,实验结果验证了系统提高定位精度的有效性.