红光高清光存储光学头衍射物镜的研究

摘要

介绍了采用迭代角谱算法设计高性能红光高清光存储光学头衍射物镜，并利用基于标准微纳工艺的单步光刻和湿法腐蚀制作出原理性衍射物镜的方法。对其进行表面形貌测试显示，所制原理性物镜由预期的高度在亚微米量级的多台阶连续浮雕结构组成，表面粗糙度在纳米量级，达到光学镜面水平，通光孔径在毫米级别。远场光学性能测试显示，所制衍射原理性物镜，能够将红光在预期的焦斑处聚焦为极细小的光斑。实验结果表明，衍射物镜的光学性能可以通过改进算法及制作工艺得到进一步的提高。