SiC切割能力的表征及与多线切割的相关性研究

摘要

SiC为多线切割中最重要的辅料之一，它的切割性能直接影响了切割品质的好坏。本文通过对SiC颗粒微粉分布，颗粒形貌，清洁度的分析来表征SiC的切割能力，从而根据不同切割能力的SiC选择不同的切割工艺，达到稳定切割良率的目的。