虚拟仪器技术在真空传递标准中的应用

摘要

磁悬浮转子规和电容薄膜规被用作真空标准之间国际比对的传递标准。为了减小由于人工操作和读数等引起的测量不确定度,利用虚拟仪器技术开发了磁悬浮转子规和电容薄膜规的数据采集与控制系统,并将其应用于分压力质谱计校准之中,实现了四极质谱计的精确校准。