微波陶瓷介质谐振器激光微调系统

摘要

提出一种采用激光微调微波陶瓷介质谐振器的方法．该方法利用激光加工具有高精度、快速的优点,通过汽化部分陶瓷材料,在介质谐振器的表面形成不同尺寸及形状的刻蚀槽.采用变分法,求解了介质谐振器在刻蚀位置及尺寸不同的情况下的谐振频率.设计了激光微调的装置,利用虚拟仪器语言编写了控制程序.数值计算结果与实验结果进行了比较,结果表明,通过激光刻蚀,可实现较高精度地调节微波陶瓷介质谐振器的谐振频率.