锶掺杂对钛酸铅薄膜晶体结构和微观形貌的影响

摘要

由铁电薄膜制成的存贮器具有高速、高集成、永久性和抗辐射等优点,引起了人们的广泛关注。而钛酸铅薄膜是一种典型的铁电薄膜,具有居里温度高、压电各向异性大、热释电常数大、性能参数易调整等优点,而经过掺杂改性的铁电薄膜具有更加优异的性能。本文考察了锶掺杂对钛酸铅薄膜的晶化温度、晶胞参数以及颗粒大小的影响。