用等离子体方法以及化学处理对Ti-O薄膜进行活化改性的研究

摘要

采用磁控溅射法制备Ti-O薄膜,然后采用等离子体浸没离子注入设备,以氢气作为离子注入源,轰击至钛氧薄膜表面,使其产生羟基基团.并对注入后样品进行酸活化,以期得到更多的羟基.采用傅立叶红外光谱仪(FTIR)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)等对材料表面的结构、成份、官能团变化进行表征。研究结果显示,Ti-O薄膜经H+注入后再进行活化,磁控溅射Ti-O薄膜得到明显增多的羟基.