衍射法细圆柱体直径测量系统设计

摘要

本文针对细圆柱体直径的测量问题,根据夫琅和费衍射测量原理,研制了一套细圆柱体直径测量系统.测量装置采用特殊的立式结构、黑色大理石座体、半导体激光器为光源以及面阵CCD为图像传感器,并编制了相应的测量软件.该系统具有功能强大、低成本、高精度、高效率和操作简单的特点.实验结果表明运用该装置测量细圆柱体直径的相对误差小于0.75％.